设备名称：场发射扫描电子显微镜

型号：Sigma 300/英国 Carl Zeiss

主要功能：Sigma300 配备多种探测器，可以满足不同的应用需求：颗粒物，表面构型及纳米结 构等样品的成像。HDBSD 探测器高清晰度背散射电子探测器，在所有真空模式下，可对各类样品 进行出色的低电压组份成像智能并加速工作流程。

主要技术参数：

1.放大倍数：30 倍～80 万倍；

2.信号选择：二次电子和背散射 ，加速电压：1～30KV；

3.点分辨率：1.0nm（15kV），1.6nm（1kV，减速模式）

4.样品台最大直径：50mm；

5.倾转角：T：-10°～90°，R="360°

6.能谱仪元素分析范围：Be4～Cf98；

7.能谱仪能量分辨率：129eV