场发射扫描电子显微镜
设备名称:场发射扫描电子显微镜
型号:Sigma 300/英国 Carl Zeiss
主要功能:Sigma300 配备多种探测器,可以满足不同的应用需求:颗粒物,表面构型及纳米结 构等样品的成像。HDBSD 探测器高清晰度背散射电子探测器,在所有真空模式下,可对各类样品 进行出色的低电压组份成像智能并加速工作流程。
主要技术参数:
1.放大倍数:30 倍~80 万倍;
2.信号选择:二次电子和背散射 ,加速电压:1~30KV;
3.点分辨率:1.0nm(15kV),1.6nm(1kV,减速模式)
4.样品台最大直径:50mm;
5.倾转角:T:-10°~90°,R="360°
6.能谱仪元素分析范围:Be4~Cf98;
7.能谱仪能量分辨率:129eV