设备名称：台阶仪

型号：Dektak XT/马来西亚 Bruker

主要功能：台阶仪主要用于薄膜材料厚度(2D)测量。可获得精确定量的台阶高度、线粗糙度，薄膜曲率半径，应力测试等薄膜几何参数。

主要技术参数：

1.最大扫描长度≥55mm；

2.最大样品高度≥40mm；

3.垂直方向扫描范围≥1000微米；

4.测试高度方向的重复性≤0.4nm；

5.测试垂直分辨率≤0.1nm。