台阶仪

作者: 发布时间:2025-04-27

台阶仪.JPG

设备名称:台阶仪

型号:Dektak XT/马来西亚 Bruker

主要功能:台阶仪主要用于薄膜材料厚度(2D)测量。可获得精确定量的台阶高度、线粗糙度,薄膜曲率半径,应力测试等薄膜几何参数。

主要技术参数:

    1.最大扫描长度≥55mm;

    2.最大样品高度≥40mm;

    3.垂直方向扫描范围≥1000微米;

    4.测试高度方向的重复性≤0.4nm;

    5.测试垂直分辨率≤0.1nm。