设备名称：台式电子扫描仪

型号：PhenomPure-荷兰 Phenom

主要功能：用于观察亚微米样品的微观结构。

主要技术参数：

1.分辨率： 优于10nm；

2.电子放大倍率：≥ 175,000倍；

3.光学放大倍数：≥20倍；

4.加速电压： 5kV，10kV；

5.电子光学探测器类型:高灵敏四分割背散射电子探测器和高真空二次电子探测器。

6.电子舱真空封锁技术,每次换样,抽真空时间:<25s;从开始载样到呈现扫描电镜图像时间:<40s,以防止样品氧化

7.具备全面模式 BSD Fu11(形貌和成份)、形貌模式 A、形貌模式B和二次电子模式 SED。4种模式在同一个操作界面任意切换。