设备名称：超高分辨扫描电镜

型号：GeminiSEM 500/英国Carl Zeiss

主要功能：主要用于样品材料表面微观显微结构的形貌表征和成分分析以及化学结构分析:扫描电镜能够在低电压条件下实现不导电样品的高分辨成像。

主要技术参数：

1.分辨率：0.5nm@15kV；0.9nm@1kV；1.0nm@0.5kV

2.放大倍数：50–2,000,000倍

3.加速电压：0.02–30kV

4.探针电流：3pA–20nA

5.样品室：330mm(φ)×270 mm(h)

6.样品台：五轴优中心全自动X="130" mm；Y= 130 mm；Z = 50 mm；T = -4°- 70°；R="360°；连续旋转。