高真空磁控溅射镀膜机
设备名称:高真空磁控溅射镀膜机
型号:CK600/沈阳鹏程真空技术有限公司
主要功能:
1.营造高真空:用真空泵组将镀膜腔室气压降至 10⁻⁵ Pa 甚至更低,减少气体干扰,保障镀膜质量。
2.磁控溅射:在高真空下,借电磁场使惰性气体电离轰击靶材,靶材原子沉积在基片成膜,可换靶材镀多种薄膜。
3.精确控膜厚:靠石英晶体振荡膜厚监测仪实时监测,调控参数,实现纳米级膜厚精度。
主要技术参数:
1.极限真空优于:2.0x10-5Pa(经烘烤除气后)
2.真空漏率小于2.0x10-8Pa.1/S
3.系统短时间暴露大气并充干燥氮气后,再开始抽气,20分钟可达到7.0x10-4Pa;
4.停泵关机10小时后真空度:≤1Pa
5.真空室腔体尺寸卧式筒型Ф560mmX800mm,手动前开门,门板固定在滑道上水平滑动定位结构
6.靶材尺寸:Ф60mm(其中一个可以溅射磁性材料);
7.3个靶可共同向样品筒中心溅射样品筒外壁,靶与样品距离50~90mm可调。1个靶在门上向样品筒内壁上溅射,水平方向可调