师资队伍

教授

材料科学与工程

weijj@ustb.edu.cn

北京科技大学功能材料研究所所长

魏俊俊

个人信息:

工学博士,教授,博士生导师。2003年毕业于北京科技大学材料科学与工程学院,获学士学位;2009年获北京科技大学材料学博士学位;北京大学博士后,美国佐治亚理工学院访问学者。

担任北京科技大学新材料研究院功能材料研究所所长,佛山市碳电子信息材料工程技术研究中心主任,兼任《工程科学学报》《真空与低温》等期刊青年编委。

主要致力于CVD金刚石及其相关材料的基础理论及应用研究工作。作为项目负责人先后承担国家自然科学基金青年/面上项目、国防重大专项(子课题)、军科委基础加强,以及装发预研等多项国家级课题。

发表学术论文100余篇;获得授权专利40余项;参编《金刚石膜制备与应用》,《Polycrystalline DiamondRecent Advances in CVD Synthesis and Application》中英文专著各1部。获得教育部技术发明一等奖1项,北京市科技进步三等奖1项。

主讲《新型功能材料与结构》、《薄膜理论与制备技术》和《先进材料导论》等本科生及研究生课程。

研究方向:

1. 高品质CVD金刚石单晶/多晶膜制备及应用

2. 金刚石微纳加工技术和应用

3. 高功率电子器件热管理材料及器件

4. (纳米)金刚石表面功能化修饰及其应用

5. 碳基薄膜及功能器件的应用开发

在顺德创新学院的基础科研条件:

团队依托佛山市碳电子信息材料工程技术研究中心设立,团队有教师5人,专职实验员1人,设备固定资产约500万元,主要仪器设备有:微波等离子体CVD系统,热丝CVD系统,热分解CVD系统,感应耦合等离子体刻蚀系统(ICP),射频磁控溅射系统,真空晶圆键合系统,光刻机,扫描电子显微镜,台阶仪,光学显微镜,溅射镀膜机,四探针仪,拉伸仪等。

团队主要研究方向包括微波CVD沉积系统开发,大尺寸金刚石材料制备及应用,CVD金刚石单晶及半导体器件,碳纳米管光学及电子学应用,PVD薄膜生长与应用等。

依托顺德创新学院科研项目:

“北科大-奔朗新材料联合研发中心共建协议,横向,2021.5.6-2025.12.31,项目负责人;

碳纳米管辐射增强散热技术,佛山市促进高校科技成果服务产业发展若干扶持政策项目,2022.1.1-2022.12.31,项目负责人;

GaN-on-Diamond材料制备及性能表征,北京科技大学顺德创新学院科技创新专项,2020.1.1-2021.12.31,项目负责人;

金刚石基TaN薄膜电阻元件制备及性能研究,北京科技大学顺德创新学院科技创新专项,2020.1.1-2021.12.31,项目负责人。

代表性成果:

代表性论文

1. Yuting Zheng, Qinrui Zhang, Guanzhong Qiao , Junjun Wei*, et al. Preparation strategy for low-stress and uniform SiC-on-diamond wafer: A silicon nitride dielectric layer [J]. Ceramics International, 2022, (48): 36441–36449.

2. Junlei Tua, Jiadong Shi, Junjun Wei*, et al. Surface termination of the diamond microchannel and single-phase heat transfer performance. International Journal of Heat and Mass Transfer, 2022, (199):123481.

3. J.J. Wei, D.H. Jing, H. Li, et al. Efect of heat treatment on fuorescence characteristics of HPHT and detonation nanodiamonds. Applied Nanoscience, 2022,12 (11):.3449-3457.

4. X.B. Yan, J.J. Wei*, K. An, et al. Graphitization of CVD diamond grain boundaries during transient heat treatment [J]. Diamond and Related Materials, 2021, 116: 108433.

5. Y.F. Liang, Y.T. Zheng*, J.J. Wei*, et al. Effect of grain boundary on polycrystalline diamond polishing by high-speed dynamic friction [J]. Diamond and Related Materials, 2021, 117: 108461.

6. X. Jia, J.J. Wei*, Y.B. Huang, et al. Fabrication of low stress GaN-on-diamond structure via dual-sided diamond film deposition[J]. Journal of Materials Science, 2021, 56: 6903-6911.

7. Z.N Qi, Y.T.Zheng, J.J. Wei*, et al. Surface treatment of an applied novel all-diamond microchannel heat sink for heat transfer performance enhancement[J], Applied thermal engineering, 2020, 177: 115489.

8. Z.N Qi, Y.T.Zheng, X.H. Zhu, J.J. Wei*, et al.An ultra-thick all-diamond microchannel heat sink for single-phase heat transmission efficiency enhancement[J], Vacuum, 2020, 177: 109377.

9. X. Jia, J.J. Wei*, Y.B. Huang, et al. Enhancement of diamond seeding on aluminum nitride dielectric by electrostatic adsorption for GaN-on-diamond preparation[J]. Journal of Materials Research, 2020, 35(5): 1-8.

10. X. Jia, J.J. Wei*, Y.C. Kong, et al, The influence of dielectric layer on the thermal boundary resistance of GaN-on-diamond substrate[J], Surface and Interface Analysis, 2019, 51(7):783-790.

11. J.J. Wei, X.Y. Zhu, L.X. Chen, et al, High quality anti-sticking coating based on multilayer structure[J], Surface and Coatings Technology, 2019, 362:72-77.

12. X.B. Yan, J.J. Wei*, K. An, et al, Quantitative study on graphitization and optical absorption of CVD diamond films after rapid heating treatment[J], Diamond and Related Materials, 2018, 87: 267-273.

13. X.B. Yan, J.J. Wei*, J.C. Guo, et al, Mechanism of graphitization and optical degradation of CVD diamond films by rapid heating treatment[J], Diamond and Related Materials, 2017, 73: 39-46.

参编专著

《金刚石膜制备与应用》科学出版社(978-7-03-041822-7 2014.08

Polycrystalline DiamondRecent Advances in CVD Synthesis and Application》,在刊, 2023.

已授权专利

1. 魏俊俊,王越,乔冠中等,一种具有金刚石钝化层的TaN薄膜电阻器的制备方法,发明专利,202211163967.

1. 魏俊俊,黄亚博,陈良贤等,一种带光学增透膜的金刚石制备方法,发明专利,ZL202011158364.4

2. 魏俊俊,荆豆红,梁毅凡等,一种基于催化反应减小纳米金刚石粒径的方法,发明专利,ZL202010519160.2

3. 魏俊俊,贾鑫,张建军等,一种金刚石膜研磨工装,实用新型,ZL201920522529.8

4. 魏俊俊,李成明,陈良贤等,一种金刚石基薄膜电阻元件的制造方法,发明专利,ZL201910459340.3

5. 魏俊俊,连洪奎,李成明等,一种金刚石微柱增强高导热石墨材料结构,实用新型,ZL201920128868.8

6. 魏俊俊,贾鑫,张建军等,一种金刚石膜研磨工装,使用新型,ZL201920522529.8

7. 魏俊俊,齐志娜,李成明等,一种超高热流密度散热用金刚石微通道热沉的制备方法,发明专利,ZL201810487436.6

8. 魏俊俊,吴晶恩,李成明等,一种高导热片-金属热沉界面热阻测量装置及方法,发明专利,ZL201810009990.3

9. 魏俊俊,贾鑫,李成明等,一种采用双金刚石层实现GaN原始衬底转移的方法及应用,发明专利,ZL201811340254.2

10. 魏俊俊,李成明,刘金龙等,一种表面P型导电金刚石热沉材料的制备方法,发明专利,ZL201510623007.3

11. 魏俊俊,李成明,黑立富等,一种研磨抛光机的磨料自动添加装置,发明专利,ZL201310150661.8

12. 魏俊俊,李成明,高旭辉等,一种大面积沉积金刚石膜的热丝架,实用新型专利,ZL201220201458.X